古為雍州之域,秦屬內史地,西漢景帝二年(前115年)于今孫塬鎮河東堡西側,始置祋祤縣,三國魏黃初元年(220年)徒甘肅之泥陽僑置于祋祤,改祋祤為泥陽縣,隸北地郡并兼為北地郡治。隋開皇六年(586年)泥陽縣更名華原縣并移治今城區。唐垂拱二年(686年)為避武則天祖諱,華原縣改稱永安縣,神龍元年(705年)復名華原縣。唐天祐三年(907年)李茂貞改華原縣置耀州。元屬奉元路。明、清屬西安府。1913年廢州,設立耀縣,屬關中道。
1949年10月屬三原分區,轄廟灣、柳林、瑤曲、龍首、安王、小丘、袁文、孝義、照金、城關、石人、寺溝12個區,74個鄉。1950年5月屬咸陽專區,撤銷龍首、廟灣、安王3區,轄9個區,63個鄉。1953年1月屬渭南專區,撤銷石人區,轄8個區,53個鄉。1956年2月撤區并鄉,轄城關鎮和柳林、瑤曲、小丘、照金4個區及王益、寺溝、稠桑、郭家、孫塬等6個直屬鄉。1956年10月屬省。1958年9月撤銷區鄉建制,成立紅旗、五星、樓村、小丘、照金、柳林、瑤曲、王益8個人民公社;同年12月撤銷耀縣并入銅川市,下設耀城、小丘、柳林3個人民公社,有20個管理區。1961年8月復設耀縣,仍屬渭南專區,下設城關、孫塬、寺溝、稠桑、下高埝、柳林、瑤曲、安里、小丘、阿子、照金、白瓜、樓村13個人民公社。1964年6月城關人民公社改設為鎮。1965年6月劃入原銅川市演池、石柱、王家貶3個人民公社,共轄1個鎮、15個人民公社。1969年屬渭南地區。1980年1月屬銅川市。1983年5月撤銷人民公社,轄1鎮15鄉。